機器消耗品市場

商品NO	1090	商品名	100W高周波電源	メーカー	（株）スプリード	管理	（株）スプリード
		型式	ST847B（100W）	価格		商品問合せ
特徴	•スパッタリング、プラズマ放電装置等に対応できます •手動整合器付き •ケーブルはRG-8U 両端N-Pコネクタ付					カタログ
仕様	周波数：13.56MHz±1KHz 出力電力：0〜120W 100W 連結出力インピーダンス：4〜60Ω 電源：100V（単相）高調波出力：2次波-40dB以下クーリング：強制空冷サイズ：130×280×303 質量：6kg ※その他製作可カスタマイズ可
備考				管理NO

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